拓荆科技获得发明专利授权：“喷淋板、半导体器件的加工设备以及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“喷淋板、半导体器件的加工设备以及方法”，专利申请号为CN202211494385.2，授权日为2025年8月22日。

专利摘要：本发明提供了一种喷淋板、一种半导体器件的加工设备以及一种半导体器件的加工方法。所述喷淋板包括：顶板，设于所述喷淋板的顶部，其中心区域设有第一进气口，用于获取反应气体；喷淋头，设于所述喷淋板的底部，配合所述顶板形成混气腔，并经由设于所述喷淋头底部的多个出气孔，向下方的反应腔输出反应气体；以及限流环，设于所述喷淋板的中心区域与边缘区域之间，占据所述混气腔的部分高度，用于降低所述反应气体从所述中心区域向所述边缘区域的扩散流速。

今年以来拓荆科技新获得专利授权37个，较去年同期增加了60.87%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息709条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。