机械行业科创板之:芯源微,致力于光刻工序涂胶显影设备国产化

国内集成电路工艺设备企业中,芯源微电子是定位于涂胶显影设备的唯一厂商。沈阳芯源微电子成立于2002年,和睿励、安集微电子、盛美半导体、上海微、中微半导体、北方微等老牌国产半导体设备制造商一样,诞生于同一个时代,至今已有17年经营历史和技术积淀。2016-2018年,公司分别实现主营业务收入1.44亿元、1.84亿元、2.01亿元,分别实现净利润0.05亿元、0.26亿元、0.30亿元,呈现良好发展势头。 涂胶显影设备占收入的主要部分覆盖国内外主流客户。公司主要为集成电路、LED芯片等下游客户,提供光刻工序涂胶显影设备或单片式湿法设备。2018年公司总收入中,涂胶显影设备占比61%,单片式湿法设备占比34.3%。公司集成电路客户主要包括台积电、华虹半导体、长江存储、华天科技、长电科技、通富微电等,而LED客户包括华灿光电、乾照光电等。

全球涂胶显影设备市场规模将增至25亿美元,EUV工艺是增量。根据VLSI、TEL等的预计,2022-2023年全球涂胶显影设备市场规模将达到25亿美元,相比2018年,EUV工艺是整体市场规模增量的主要来源。中国(含台湾地区)前道涂胶显影设备销售额预计由2018年的8.96亿美元,增至2023年的10.26亿美元。

国内外涂胶显影设备竞争格局:TEL处于绝对垄断。全球涂胶显影设备市场中,TEL的市占率达到87%,而DNS、SEMES、Suss MicroTec等合计占比仅为13%。TEL在中国大陆的涂胶显影设备市场中也是处于绝对垄断地位,通过取具备代表性的晶圆产线抽样统计, TEL在中国大陆涂胶显影设备市场中的市占率约超过90%,而DNS、沈阳芯源等的市占率合计不到10%。

同业比较:芯源的涂胶显影设备尚处于产业化初期。大陆半导体设备企业中,屹唐、北方微、中微、盛美2018年收入达到1-2亿美元经营规模,沈阳芯源微电子的收入仅为2亿元,表明芯源尚处于集成电路涂胶显影设备的工艺验证与产业化初期。国际上的同类型企业中,根据TEL公告推算东京电子2016-2018年的涂胶显影设备经营规模依次为12.4、14.7、18.4亿美元,相比之下芯源微电子的涂胶显影设备收入规模尚小。

芯源的涂胶显影设备已进入多条晶圆产线。通过多年的技术积累以及承担国家02重大专项,芯源已经成功掌握多种涂胶显影核心技术,并拥有多项自主知识产权。尽管芯源的涂胶显影设备尚处于产业化初期,但其前道I-line涂胶显影机已在长江存储上线进行工艺验证,可满足客户0.18μm技术节点加工工艺;前道Barc(抗反射层)涂胶设备在已在上海华力上线测试应用,可满足客户28nm技术节点加工工艺。

募投项目:拟募集资金3.8亿元。公司拟在科创板公开发行股票数量不超过2,100万股,募集资金主要用于8/12英寸单晶圆前道涂胶/显影机、8/12英寸前道单片式清洗机等产能与研发中心建设。

风险因素:大陆晶圆厂扩产不如预期;供应商供货不稳定风险。