敏芯股份获得发明专利授权：“MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器”，专利申请号为CN202610513955.X，授权日为2026年7月14日。

专利摘要：本申请实施例提供MEMS传感器的形成方法和MEMS传感器，其中形成方法包括提供第一晶圆，第一晶圆具有第一面和第二面；在第一面上开设至少一个通孔，并在第一面和通孔的内壁上形成第一绝缘层；形成包括布线层和导电部的多晶硅层，导电部填充通孔，布线层覆盖第一绝缘层和导电部；在布线层上形成第二绝缘层；在第二绝缘层上形成包括敏感结构和信号传输结构的器件层，敏感结构和信号传输结构均与布线层电连接；将器件层背离第一面的一侧与第二晶圆键合；在第二面侧去除部分第一晶圆，以露出位于通孔中的导电部；形成至少一个信号引出结构，其与对应的导电部电连接。本申请提高了传感器信号传输的稳定性和产品一致性，并降低了制造成本。

今年以来敏芯股份新获得专利授权13个，较去年同期减少了55.17%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了8171.88万元，同比增0.93%。

通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了14家企业，参与招投标项目29次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息520条，著作权信息5条；此外企业还拥有行政许可16个。

数据来源：天眼查APP

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