拓荆科技获得发明专利授权：“薄膜沉积设备进气模块以及薄膜沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“薄膜沉积设备进气模块以及薄膜沉积设备”，专利申请号为CN202211386471.1，授权日为2025年6月3日。

专利摘要：本发明提供了一种薄膜沉积设备进气模块及薄膜沉积设备。该进气模块包括中间进气管路及第二进气管路。中间进气管路贯穿于薄膜沉积设备进气模块的顶部和底部。第二进气管路包括横向进气支路、纵向的双层环形管路及连通管路。横向进气支路具有进气口和出气口，进气口开设于薄膜沉积设备进气模块的侧部。纵向的双层环形管路包括第一环形管路和第二环形管路。第一环形管路的内径小于和第二环形管路的内径。第二环形管路的顶端入口与横向进气支路的出气口无缝连通。连通管路位于第一环形管路和第二环形管路之间，所述连通管路包括至少一个横向支路，各横向支路的两端分别开设于所述第一环形管路和所述第二环形管路的侧壁。

今年以来拓荆科技新获得专利授权18个，较去年同期增加了200%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。

数据来源：天眼查APP

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