ST华微获得实用新型专利授权：“溅射台”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示ST华微（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“溅射台”，专利申请号为CN202420489701.5，授权日为2025年2月25日。

专利摘要：本申请提供一种溅射台，涉及半导体技术领域。所述溅射台包括装载腔室、传送腔室及工艺腔室；装载腔室设置有信号发射器、信号接收器、控制器以及伺服电机；信号发射器及信号接收器分别设置于硅片的移动方向的两侧，信号发射器用于发射光信号，信号接收器用于接收信号发射器发射的光信号；控制器与信号接收器连接，控制器用于根据信号接收器发送的信号判断是否报警；伺服电机用于控制片筐进行移动，通过上述结构，可以在硅片的传动过程中有效检测硅片的位置，并及时对硅片的传动过程进行调整，以确保硅片的准确传送，从而避免碎片的产生，并保证生产过程的正常运行，如此，可以减少硅片破碎导致的成本损失。

今年以来ST华微新获得专利授权8个，较去年同期增加了700%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6046.38万元，同比增13.15%。

数据来源：天眼查APP

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