证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“抽气环结构及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202211492892.2，授权日为2025年2月7日。
专利摘要：本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种抽气环结构及等离子体处理装置。该抽气环结构为内部空腔的环形腔体结构，沿抽气环结构的周向壁面设有排气面，排气面为连续交替设有凸部和凹部的波纹状排气面，相邻两个凸部和凹部之间由波纹斜面相接，各波纹斜面上设有贯通的第一排气孔；环形腔体结构的与排气面相对的壁面上贯通设有抽气孔。该离子体处理装置设置有该抽气环结构。该抽气环结构及等离子体处理装置解决了现有的排气环结构排气效率较低的技术问题。
今年以来拓荆科技新获得专利授权3个，较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3.14亿元，同比增49.61%。
数据来源：天眼查APP
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