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奥特维获得实用新型专利授权:“一种硅片检测系统”

来源:证券之星企业动态 2025-01-17 02:06:19
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示奥特维(688516)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种硅片检测系统”,专利申请号为CN202420806668.4,授权日为2025年1月17日。

专利摘要:本申请提供了一种硅片检测系统,包括硅片输送线、尺寸检测装置、第一表面检测装置、隐裂检测装置、边缘检测装置、第二表面检测装置及厚度检测装置。硅片输送线被配置为沿第一方向同步输送第一硅片和第二硅片。第一硅片和第二硅片在硅片输送线的驱动下依次经过尺寸检测工位、第一表面检测工位、隐裂检测工位、边缘检测工位、第二表面检测工位及厚度检测工位,设置在上述各工位处的各检测装置依次连续地完成对硅片的尺寸、第一表面、隐裂、边缘、第二表面及厚度检测,检测过程中无需对硅片进行搬运周转,从而提升了检测效果。硅片输送线实施对两片硅片的同步输送,各检测装置同步地对位于相应工位处的两片硅片的检测,从而进一步提升了检测效率。

今年以来奥特维新获得专利授权17个,与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1.78亿元,同比增37.01%。

数据来源:天眼查APP

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