证券之星消息,根据天眼查APP数据显示深科达(688328)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“承载装置”,专利申请号为CN202420137795.X,授权日为2025年1月14日。
专利摘要:本申请提供一种承载装置,包括:载台组件,载台组件用于承载晶圆;底座,底座与载台组件在预设方向上间隔设置;连接组件,连接组件位于载台组件与底座之间,连接组件包括第一定位件、第二定位件及定位连接件,第一定位件与载台组件连接,第二定位件与底座连接,第一定位件套设于第二定位件上,定位连接件从第一定位件的外侧依次穿过第一定位件以及第二定位件的至少部分结构,并对第一定位件和第二定位件进行紧固连接。通过本申请提供的承载装置,当需要对载台组件拆卸进行更换或维护时,工作人员可以从承载装置侧部拆卸定位连接件以解除第一定位件与第二定位件的紧固连接,实现对载台组件的拆卸,可提高对载台组件拆装的方便性。
今年以来深科达新获得专利授权3个,较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了3531.98万元,同比减28.12%。
数据来源:天眼查APP
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