证券之星消息,根据天眼查APP数据显示ST华微(600360)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种高精度探针架”,专利申请号为CN202420438527.1,授权日为2024年12月10日。
专利摘要:本实用新型属于一种高精度探针架,涉及半导体测试技术领域,与待测半导体芯片配合使用,包括:探针架底座、水平X向模块、水平Y向模块、竖直Z向模块和探针臂,所述水平Y向模块设于探针架底座上方,所述水平X向模块设于水平Y向模块上方,所述竖直Z向模块设于水平X向模块侧方且与其固定连接,竖直Z向模块下方设有探针臂,本实用新型与现有技术相比大幅度的提高了探针架的下探精度,下探精度可达1μm,解决了现有技术中测试探针在对被测半导体芯片进行测试时极易损坏和计算针压值容易产生误差的问题,本实用新型实现快速测试功能,操作简单,装置成本低,作业效率高。
今年以来ST华微新获得专利授权20个,较去年同期减少了44.44%。结合公司2024年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6046.38万元,同比增13.15%。
数据来源:天眼查APP
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