拓荆科技获得发明专利授权：“半导体加工设备及其混气装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体加工设备及其混气装置”，专利申请号为CN202111523716.6，授权日为2024年8月13日。

专利摘要：本发明公开了一种半导体加工设备及其混气装置，该混气装置包括第一部件和第二部件；所述第一部件具有第一腔室和与所述第一腔室连通的第一进气口，所述第一腔室的底壁固接有多个与所述第一腔室连通的管道；所述第二部件具有第二腔室和与所述第二腔室连通的第二进气口，所述第二腔室为敞口形式，所述第二腔室的底壁具有多个通气通孔；多个所述管道分别插入多个所述通气通孔内，且所述第一部件的底壁封堵所述第二腔室的敞口；所述通气通孔的孔周壁与所述管道的外周壁之间形成与所述第二腔室连通的通气流道。该混气装置的结构设置能够减少不同气体间的碰撞，流场可控，可改善晶圆表面聚合物的均匀性，并降低晶圆表面聚合物厚度的差异。

今年以来拓荆科技新获得专利授权20个，较去年同期减少了57.45%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.76亿元，同比增52.07%。

数据来源：天眼查APP

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