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龙图光罩获得实用新型专利授权:“夹持机构和清洗装置”

来源:证券之星企业动态 2024-07-19 02:15:23
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证券之星消息,根据企查查数据显示龙图光罩(688721)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“夹持机构和清洗装置”,专利申请号为CN202323326707.5,授权日为2024年7月9日。

专利摘要:本申请提供一种夹持机构和清洗装置,解决卡盘只能加持一种尺寸的光学掩膜板的问题。夹持机构包括底座、齿轮和至少两组夹持部,齿轮转动设置于底座上;夹持部包括齿条和夹头;至少两个齿条阵列分布,且与齿轮啮合;齿条滑动设置于底座上,且与夹头连接;其中,齿轮带动至少两组夹持部的齿条滑动,以使得至少两组夹头相互靠近或相互远离。

今年以来龙图光罩新获得专利授权3个。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了2017.59万元,同比增31.58%。

数据来源:企查查

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