拓荆科技获得发明专利授权：“抽气环及半导体处理装置”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“抽气环及半导体处理装置”，专利申请号为CN202111618012.7，授权日为2024年3月29日。

专利摘要：本发明揭露一种抽气环，适用于半导体处理装置的腔体中，包含：一第一环形通道；及一第二环形通道，与所述第一环形通道迭层配置，且所述第一环形通道与所述第二环形通道经由多个孔相互连通。此外本发明还揭示了一种半导体处理装置。

今年以来拓荆科技新获得专利授权3个，较去年同期减少了82.35%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.1亿元，同比增78.77%。

数据来源：企查查

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