证券之星消息,根据企查查数据显示江丰电子(300666)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种铜靶材及其制备方法”,专利申请号为CN202110931619.4,授权日为2024年3月22日。
专利摘要:本发明提供一种铜靶材及其制备方法,所述制备方法包括依次进行的切料、第一锻伸、第一热处理、第二锻伸、第二热处理、冷锻、第三热处理、压制、第四热处理与抛光;所述第一热处理与第二热处理的温度分别为290?310℃;所述第三热处理与第四热处理的温度分别为250?270℃。本发明提供的制备方法减少了铜靶材内部缺陷,避免了晶粒组织异常现象,提升了晶粒细化程度,进而改善了溅射薄膜的厚度分布均匀性,提升了溅射速率和镀膜质量。
今年以来江丰电子新获得专利授权24个,较去年同期减少了35.14%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了7788.86万元,同比增27.92%。
数据来源:企查查
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