拓荆科技获得发明专利授权：“一种等离子体反应器”

证券之星消息，根据企查查数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体反应器”，专利申请号为CN202111632371.8，授权日为2024年2月23日。

专利摘要：本发明提供一种等离子体反应器，包括反应器腔室，所述反应器腔室设有第一抽气环、第二抽气环、喷头面板和加热器；所述喷头面板用于向所述反应器腔室喷洒等离子体；所述第一抽气环与所述第二抽气环互相配合；所述第二抽气环与所述加热器互相配合；所述第二抽气环开设有通孔，所述通孔的数量为若干个，所述通孔贯穿所述第二抽气环；所述加热器用于提供等离子体反应的温度条件。该等离子体反应器用于简化加工过程，消除加工死角，节约加工成本，便于更换工艺工况，提升抽气结构的利用率。

今年以来拓荆科技新获得专利授权2个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.1亿元，同比增78.77%。

数据来源：企查查

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