证券之星消息,根据企查查数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种加热盘结构”,专利申请号为CN202111613976.2,授权日为2023年11月24日。
专利摘要:本发明提供了一种加热盘结构,包括基座,开设有通气孔;底盘,设于所述基座,所述底盘设有与所述通气孔导通的接气孔,所述底盘远离所述基座的表面设有气流通道,所述气流通道与所述接气孔导通;驱动器,具有旋转部和伸缩部,所述旋转部可旋转的设于所述底盘,所述旋转部可带动所述伸缩部旋转;顶盘,盖合所述底盘形成气腔,所述顶盘对应所述气流通道设有若干排气孔;遮挡杆,设于所述气腔内与所述伸缩部连接,所述遮挡杆可遮挡部分所述排气孔。本发明可调节加热盘表面的温度,使加热盘表面的温度均匀,提高在晶圆上沉积薄膜时的均匀性。
今年以来拓荆科技新获得专利授权78个,较去年同期增加了136.36%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.1亿元,同比增78.77%。
数据来源:企查查
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