（原标题：7.07亿主力资金净流入，光刻机概念涨3.90%）
截至6月30日收盘，光刻机概念上涨3.90%，位居概念板块涨幅第3，板块内，36股上涨，蓝英装备20%涨停，凯美特气、中瓷电子、*ST和科等涨停，波长光电、久日新材、国林科技等涨幅居前，分别上涨9.44%、7.81%、7.34%。
今日涨跌幅居前的概念板块
| 概念 | 今日涨跌幅（%） | 概念 | 今日涨跌幅（%） |
|---|---|---|---|
| 兵装重组概念 | 8.89 | 期货概念 | -0.44 |
| 脑机接口 | 5.17 | 金属锌 | -0.08 |
| 光刻机 | 3.90 | 乳业 | -0.06 |
| 成飞概念 | 3.82 | 盐湖提锂 | 0.01 |
| 国产航母 | 3.68 | 水泥概念 | 0.01 |
| 军民融合 | 3.60 | 金属铅 | 0.04 |
| 航空发动机 | 3.21 | 深圳国企改革 | 0.06 |
| 光刻胶 | 3.19 | 互联网保险 | 0.10 |
| BC电池 | 2.99 | 中韩自贸区 | 0.11 |
| 大飞机 | 2.98 | 煤炭概念 | 0.13 |
资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入7.07亿元，其中，24股获主力资金净流入，6股主力资金净流入超3000万元，净流入资金居首的是蓝英装备，今日主力资金净流入2.79亿元，净流入资金居前的还有凯美特气、中瓷电子、旭光电子等，主力资金分别净流入2.26亿元、7696.83万元、5610.98万元。
资金流入比率方面，凯美特气、中瓷电子、蓝英装备等流入比率居前，主力资金净流入率分别为56.32%、39.09%、31.36%。（数据宝）
光刻机概念资金流入榜
| 代码 | 简称 | 今日涨跌幅（%） | 今日换手率（%） | 主力资金流量（万元） | 主力资金净流入比率（%） |
|---|---|---|---|---|---|
| 300293 | 蓝英装备 | 20.00 | 13.04 | 27855.84 | 31.36 |
| 002549 | 凯美特气 | 10.04 | 5.66 | 22577.40 | 56.32 |
| 003031 | 中瓷电子 | 10.01 | 1.11 | 7696.83 | 39.09 |
| 600353 | 旭光电子 | 6.38 | 10.33 | 5610.98 | 5.03 |
| 301421 | 波长光电 | 9.44 | 39.33 | 3484.07 | 2.38 |
| 688630 | 芯碁微装 | 0.21 | 2.79 | 3075.52 | 10.53 |
| 600850 | 电科数字 | 2.80 | 1.50 | 1853.72 | 8.35 |
| 300786 | 国林科技 | 7.34 | 21.96 | 1602.48 | 3.21 |
| 301611 | 珂玛科技 | 5.36 | 10.30 | 1587.46 | 4.67 |
| 688268 | 华特气体 | 3.90 | 2.79 | 1577.47 | 9.37 |
| 688409 | 富创精密 | 1.16 | 3.49 | 1469.15 | 4.30 |
| 688502 | 茂莱光学 | 4.31 | 8.53 | 986.92 | 2.40 |
| 603005 | 晶方科技 | 1.43 | 5.07 | 759.02 | 0.81 |
| 600619 | 海立股份 | 4.30 | 7.84 | 746.28 | 1.05 |
| 300219 | 鸿利智汇 | 2.28 | 2.74 | 674.32 | 5.18 |
| 603297 | 永新光学 | 2.15 | 1.64 | 533.73 | 3.39 |
| 002889 | 东方嘉盛 | 2.74 | 3.61 | 461.04 | 3.39 |
| 301297 | 富乐德 | 2.99 | 7.22 | 432.98 | 1.03 |
| 603360 | 百傲化学 | 1.49 | 2.06 | 331.95 | 1.01 |
| 301568 | 思泰克 | 0.26 | 11.32 | 221.50 | 1.08 |
| 300691 | 联合光电 | 2.24 | 3.69 | 197.77 | 1.33 |
| 002816 | *ST和科 | 5.00 | 1.63 | 164.52 | 5.55 |
| 688199 | 久日新材 | 7.81 | 5.75 | 162.34 | 0.76 |
| 300331 | 苏大维格 | 4.67 | 8.89 | 110.94 | 0.27 |
| 300456 | 赛微电子 | 3.37 | 4.09 | -55.52 | -0.13 |
| 688376 | 美埃科技 | 1.72 | 1.58 | -164.49 | -5.47 |
| 002008 | 大族激光 | 1.20 | 1.63 | -328.11 | -0.84 |
| 603738 | 泰晶科技 | 1.59 | 2.46 | -367.12 | -2.61 |
| 003043 | 华亚智能 | 4.00 | 5.20 | -431.33 | -2.43 |
| 688307 | 中润光学 | 1.17 | 2.69 | -502.50 | -11.23 |
| 300990 | 同飞股份 | 1.73 | 5.80 | -644.40 | -2.87 |
| 300260 | 新莱应材 | 4.38 | 13.44 | -733.63 | -0.57 |
| 600895 | 张江高科 | 2.72 | 2.68 | -787.88 | -0.73 |
| 688167 | 炬光科技 | 1.83 | 4.20 | -1582.30 | -5.16 |
| 300666 | 江丰电子 | 1.24 | 2.73 | -1911.14 | -4.27 |
| 603800 | 洪田股份 | -1.71 | 4.06 | -2623.01 | -12.17 |
| 688195 | 腾景科技 | 2.74 | 6.60 | -3321.30 | -8.45 |
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