华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆竖直清洗装置和方法”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆竖直清洗装置和方法”，专利申请号为CN202210756707.X，授权日为2025年9月16日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆竖直清洗装置和方法，其中方法包括：在滚动的清洗刷对旋转的晶圆进行滚动刷洗时，使第一喷淋杆将清洗液供给至位于清洗刷上方的晶圆表面的上部区域；使第二喷淋杆将清洗液供给至位于清洗刷下方的晶圆表面的下部区域，其中，所述下部区域相对于晶圆的旋转方向位于清洗刷的上游侧区域。

今年以来华海清科新获得专利授权68个，较去年同期增加了161.54%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目231次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息716条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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