中微公司获得发明专利授权：“半导体处理设备及其直流电压信号控制系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体处理设备及其直流电压信号控制系统”，专利申请号为CN202411629639.6，授权日为2025年9月16日。

专利摘要：本发明提供一种半导体处理设备及其直流电压信号控制系统。该系统中控制第一信号生成模块和第二信号生成模块独立工作且开启状态互斥，获取直流电能来生成在时域上不重叠的第一直流电压信号与第二直流电压信号，提供给半导体处理设备用以形成偏置电压，对等离子体中带电粒子的加速过程进行控制。本发明可以简化系统结构，实现快速响应的开关控制，并能防止电路短路，提高系统运行的安全性和稳定性，还可以增强信号调控的灵活性，对脉冲波形进行针对性的优化，提升半导体加工的工艺性能。

今年以来中微公司新获得专利授权118个，较去年同期增加了28.26%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1539条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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