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拓荆科技获得发明专利授权:“一种支撑组件、半导体加工腔室及支撑组件线下检测调试方法”

来源:证券之星企业动态 2025-05-31 02:41:40
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种支撑组件、半导体加工腔室及支撑组件线下检测调试方法”,专利申请号为CN202010501266.X,授权日为2025年5月30日。

专利摘要:本发明是属于一种集成电路生产设备技术领域,具体提供了一种支撑组件、半导体加工腔室及支撑组件线下检测调试方法,适用于各种半导体设备装配、调试、检查、测试,将支撑组件的各个需要调试的部件进行高度水平调试后,直接可以对准安装在半导体设备上,无需再调试。本方案提供一种线下操作的可能性,从而让操作人员可以方便快捷的完成支撑组件的装配、检查、测试,提高生产效率,提高生产质量,降低劳动强度。

今年以来拓荆科技新获得专利授权17个,较去年同期增加了183.33%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了7.56亿元,同比增31.26%。

数据来源:天眼查APP

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