晶盛机电获得发明专利授权：“一种装载腔室、外延生长设备以及托盘取放方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种装载腔室、外延生长设备以及托盘取放方法”，专利申请号为CN202411513835.7，授权日为2025年1月17日。

专利摘要：本申请提供一种装载腔室和外延生长设备。本申请的装载腔室包括腔室主体、盖板和至少一个开关门组件，腔室主体包括底板及与底板连接的侧壁，底板和侧壁形成容置腔，盖板的一端与侧壁中对应的第一侧板铰接，盖板用于封闭容置腔，开关门组件包括第一传动件和第一驱动件，第一传动件的第一端与盖板连接，以带动盖板转动，使盖板封闭或打开容置腔；第一驱动件与第一传动件的第二端连接，用于控制第一传动件运动，以使得第一传动件带动盖板转动；其中，侧壁中与第一侧板相邻的第二侧板开设有条形孔，第一传动件插置于条形孔。本申请的装载腔室和外延生长设备能够自动控制盖板的开启和关闭，无须人工手动操作。

今年以来晶盛机电新获得专利授权3个，较去年同期减少了62.5%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6.11亿元，同比增1.92%。

数据来源：天眼查APP

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