光韵达获得发明专利授权：“一种基于LCOS芯片的曝光装置及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示光韵达（300227）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基于LCOS芯片的曝光装置及方法”，专利申请号为CN202110350277.7，授权日为2025年1月17日。

专利摘要：一种基于LCOS芯片的曝光装置及方法，该装置包括光源、偏振分光棱镜、第一LCOS芯片、第二LCOS芯片以及成像透镜，第一LCOS芯片中的第一部分像素点将P偏振光中的一部分光调制成S偏振光后反射回偏振分光棱镜，第二LCOS芯片中的第一部分像素点将S偏振光中的一部分光调制成P偏振光后反射回偏振分光棱镜，第一LCOS芯片反射回来的S偏振光和第二LCOS芯片反射回来的P偏振光分别经过偏振分光棱镜分光界面处，重合后形成偏振合束，同轴传播进入成像透镜。由此，本发明的曝光装置使得光源经过偏振分光棱镜后得到的P偏振方向和S偏振方向的光均能够得到有效的利用，提高了光源光功率的利用效率和曝光强度，有利于兼使分辨率、光功率、效率获得最佳性能。

今年以来光韵达新获得专利授权2个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4432.89万元，同比减0.31%。

数据来源：天眼查APP

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