晶盛机电获得实用新型专利授权：“重复定位精度测量装置及光学检测设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“重复定位精度测量装置及光学检测设备”，专利申请号为CN202420837457.7，授权日为2024年12月3日。

专利摘要：本实用新型公开了一种重复定位精度测量装置及光学检测设备，涉及晶圆的检测技术领域。该重复定位精度测量装置包括支撑架、位置调节机构和检测组件；位置调节机构通过支撑架架设于待测件的上方，位置调节机构包括Y向调整基板和三个X向调整基板，三个X向调整基板分别与Y向调整基板可移动连接，以使三个X向调整基板在Y向调整基板上的位置均可调。检测组件包括三个检测件，三个检测件一一对应地可移动设置于三个X向调整基板上，以使三个检测件能分别位于第一测量点的上方、第二测量点的上方和第三测量点的上方，待测件上升能使三个检测件分别与第一测量点、第二测量点和第三测量点接触，以对测量平面的重复定位精度进行检测。

今年以来晶盛机电新获得专利授权123个，较去年同期减少了24.07%。结合公司2024年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.11亿元，同比增1.92%。

数据来源：天眼查APP

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