华微电子获得实用新型专利授权：“一种晶圆腐蚀检测装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示华微电子（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆腐蚀检测装置”，专利申请号为CN202322385203.4，授权日为2024年3月22日。

专利摘要：本申请公开了一种晶圆腐蚀检测装置，涉及晶圆腐蚀检测技术领域。用于解决现有技术中不便于探头模块检测晶圆不同部位的厚度的问题。所述检测装置包括第一支撑板、竖直升降机构、第一水平调节机构和探头，第一支撑板竖直安装在腐蚀装置的腐蚀平台上，腐蚀平台上开有腐蚀腔，第一支撑板上开有位于竖直方向的第一滑动槽；部分竖直升降机构安装在腐蚀平台的顶面，部分竖直升降机构延伸至第一滑动槽内；第一水平调节机构安装在竖直升降机构上；探头安装在第一水平调节机构上，探头对准腐蚀腔，以检测安装在腐蚀腔内的晶圆的厚度。本申请可以调节探头检测晶圆不同部位的厚度，进而可以使同一晶圆不同部位的厚度的一致性更好。

今年以来华微电子新获得专利授权9个，较去年同期增加了12.5%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了5343.85万元，同比增1.35%。

数据来源：企查查

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