永鼎股份获得发明专利授权：“基于快速响应决策的芯片生产控制方法及系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示永鼎股份（600105）新获得一项发明专利授权，专利名为“基于快速响应决策的芯片生产控制方法及系统”，专利申请号为CN202311511779.9，授权日为2024年2月20日。

专利摘要：本发明涉及半导体芯片生产技术领域，提供了基于快速响应决策的芯片生产控制方法及系统，包括：交互用户端，接收介电层沉淀需求信息；标定反应物类型列表；根据介电层需求厚度和沉淀晶圆面积，标定并生成反应物损耗量列表；计算反应约束速率，设定腔体反应条件和反应物浓度；获取反应腔体加热点位，温度分布仿真生成温度仿真分区结果，位置优化生成基体推荐位置，进行介电层沉淀控制，解决反应腔体的温度分布不均匀，难以实时控制，导致芯片生产质量无法保障技术问题，实现精确控制反应条件和反应物浓度，通过温度分布仿真，提高温度控制精度，提高反应稳定性，快速响应芯片生产过程的变化，进而提高芯片生产的效率和质量技术效果。

今年以来永鼎股份新获得专利授权10个，较去年同期增加了900%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9925.12万元，同比增42.66%。

数据来源：企查查

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