事件：公司公布前三季度业绩报告，2022年前三季度公司营收8.97亿元，同比增长63.87%；归母净利润1.43亿元，同比增长169.42%；扣非净利润0.99亿元，同比增长116.00%。分季度来看，2022Q3单季营收3.92亿元，同比增长99.93%，环比增长22.42%；归母净利润0.74亿元，同比增长308.63%，环比增长99.01%；扣非净利润0.33亿元，同比增长104.38%，环比下降3.21%。
业绩同比高增长，在手订单充沛。2022年Q3公司实现营收3.92亿元，同比增长99.93%；归母净利润0.74亿元，同比增长308.63%；毛利率为40.06%，同比增长2.58pct。公司归母净利润大幅增长主要系：1）随着集成电路产业面临着新型芯片和先进制程的产能扩张需求，为半导体设备行业带来广阔市场空间。2）公司收到商业秘密维权赔偿金4000万元。3）公司不断突破关键技术，产品竞争力持续增强。前三季度公司存货12.87亿元，同比2021年末增长38.03%；合同负债6.04亿元，同比2021年末增长71.29%，订单或较充沛有望支撑业绩增长。费用方面，公司2022前三季度销售费用、管理费用、研发费用及财务费用分别为0.70/0.88/0.95/-0.02亿元，合计费用率27.94%。现金流管控方面，前三季度公司销售回款情况良好，经营活动产生的现金流量净额为0.56亿元，同比大幅由负转正，公司内部经营管理水平不断提升。
前道设备持续发力，化学清洗机有望开拓成长空间。在前道涂胶显影领域，公司前道涂胶显影设备在28nm及以上工艺节点的多项关键技术方面取得突破并具备快速实现国产替代的技术实力；其中offline、I-line、KrF机台均实现批量销售，陆续获得长江存储、合肥长鑫、中芯京城等多个前道大客户订单，订单规模同比大幅增长。在前道物理清洗领域，公司物理清洗机SpinScrubber设备达国际先进水平并成功实现国产替代，获得中芯国际、上海华力等多个前道大客户的批量重复订单，国内市场占有率稳步提升。公司正研发的前道化学清洗机可应用于更高工艺等级的前道晶圆制造环节。未来随着前道化学清洗设备的工艺验证及商业化推广，将进一步丰富公司产品矩阵，有望为公司在高端设备领域注入核心竞争力和增长力。
募集资金突破产能瓶颈，长期成长动力充足。公司通过定增募集10亿元用于上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目（二期）。
其中上海临港研发及产业化项目主要用于研发与生产前道ArF光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机及单片式化学清洗机等高端半导体专用设备；高端晶圆处理设备产业化项目（二期）主要用于前道I-line与KrF光刻工艺涂胶显影机、前道Barc（抗反射层）涂胶机以及后道先进封装Bumping制备工艺涂胶显影机。项目的实施将提升公司现有量产半导体设备的供货能力，并强化公司在高端设备领域的技术优势并丰富产品结构，提升公司产品的竞争力。
首次推荐，给予“买入”评级：公司是国内涂胶显影设备龙头，同时积极开拓清洗设备市场构筑长期成长空间。公司生产的涂胶显影设备产品成功打破国外厂商垄断并填补国内空白，应用于逻辑、存储、功率器件、其他特种工艺等下游客户；单片式清洗机SpinScrubber设备在多项关键技术取得突破，成功实现进口替代；用于更高工艺等级的化学清洗机研发持续推进中。随着国内众多晶圆厂的持续扩产叠加国产替代需求强劲提供的发展机遇，公司将持续受益。同时随着募投项目产能的逐步释放，公司业绩有望实现高增长。预计公司2022-2024年归母净利润分别为1.74/2.37/3.04亿元，EPS为1.88/2.56/3.29元，对应PE分别约为138X、101X、79X，给予“买入”评级。
风险提示：晶圆厂扩产不及预期风险；市场竞争风险；技术迭代风险；新产品推广不及预期风险。
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