晶盛机电获得实用新型专利授权：“阀门及真空设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“阀门及真空设备”，专利申请号为CN202521860479.6，授权日为2026年8月7日。

专利摘要：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了阀门及真空设备，阀门的驱动组件包括：横向驱动机构和纵向驱动机构均连接于主轴，纵向驱动机构驱动主轴沿第一方向升降，横向驱动机构驱动主轴沿第二方向往复移动，驱动件通过限位机构传动连接于纵向驱动机构和横向驱动机构，限位机构被配置为在阀板的竖直高度和出口的高度相同时约束纵向驱动机构，以使纵向驱动机构和横向驱动机构先后动作；主轴和横向驱动机构之间设置有约束机构，约束机构包括安装槽和约束件，约束件沿第一方向被约束地连接于安装槽内，且约束件能沿第二方向往复移动。本实用新型的阀门可保持反应腔室的洁净度，提高运行平稳性，利于降低真空设备的生产成本和装配难度，提升工艺性能。

今年以来晶盛机电新获得专利授权55个，较去年同期减少了32.93%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了9.55亿元，同比减14.67%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了37家企业，参与招投标项目242次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1194条，著作权信息157条；此外企业还拥有行政许可45个。

数据来源：天眼查APP

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