中科飞测获得发明专利授权：“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统”，专利申请号为CN202511389130.3，授权日为2026年7月21日。

专利摘要：本发明涉及半导体关键尺寸量测技术领域，具体提供一种应用于半导体关键尺寸量测的X射线量测系统，包括：兼容的CD?SAXS量测系统和XRR量测系统、共用样品台、样品台、XRR运算系统以及SAXS运算系统，其中，CD?SAXS量测系统和XRR量测系统的量测点相同且位于共用样品台上，通过XRR量测系统实时采集半导体样品的反射率信号，XRR运算系统依据反射率信号获得半导体样品的电子密度及膜层周期等关键信息，并将这些信息作为先验知识共享给SAXS运算系统，CD?SAXS运算系统依据CD?SAXS量测系统获取的散射信号以及先验知识计算得到半导体样品的HAR结构尺寸。本发明在CD?SAXS量测过程中，同时、同步获取了同一量测点的反射率信息，为CD?SAXS量测提供先验知识，有效提高了CD?SAXS量测系统模型计算的准确性。

今年以来中科飞测新获得专利授权42个，较去年同期减少了2.33%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了6.56亿元，同比增31.76%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目296次；财产线索方面有商标信息381条，专利信息1134条，著作权信息45条；此外企业还拥有行政许可45个。

数据来源：天眼查APP

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