富创精密获得发明专利授权：“一种耐等离子体的阀板密封组件及其制备方法和应用”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富创精密（688409）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种耐等离子体的阀板密封组件及其制备方法和应用”，专利申请号为CN202610479570.6，授权日为2026年7月17日。

专利摘要：本发明涉及半导体设备制造与封闭技术领域，具体公开了一种耐等离子体的阀板密封组件及其制备方法和应用；该组件包括金属基体、弹性密封件、PFA隔离带及二者间的熔渗体，制备时先将特定形状的弹性密封件安装在外层环状凹槽中，再将内层环状凹槽中的PFA熔体热压成型，高温高压使PFA熔体与弹性密封件表层相互渗透熔合形成过渡层，即熔渗体，界面结合紧密无间隙，最后快速冷却去飞边，得到阀板密封组件成品，该成品通过PFA隔离带阻隔等离子体侵蚀，熔渗层提升结构稳定性，显著降低发尘量与重量损失，延长使用寿命，适用于半导体等离子体工艺设备。

今年以来富创精密新获得专利授权29个，较去年同期增加了7.41%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.73亿元，同比增23.53%。

通过天眼查大数据分析，沈阳富创精密设备股份有限公司共对外投资了23家企业，参与招投标项目83次；财产线索方面有商标信息28条，专利信息760条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可55个。

数据来源：天眼查APP

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