证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“半导体器件及其制造方法”,专利申请号为CN202610276804.7,授权日为2026年6月19日。
专利摘要:本申请涉及一种半导体器件及其制造方法,包括:提供表面形成有栅极结构的衬底,栅极结构包括伪栅及沿远离伪栅的方向依次形成的第一牺牲层、第一侧墙、第二牺牲层和第二侧墙;于栅极结构和衬底上形成覆盖栅极结构侧壁的刻蚀停止层;于刻蚀停止层上形成中间层,使刻蚀停止层、中间层、栅极结构的表面齐平,并使栅极结构的顶部暴露;去除第一牺牲层、第二牺牲层,及刻蚀停止层中覆盖栅极结构侧壁的部分,以分别对应形成第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽;于中间层上形成覆盖栅极结构的外延层,以使第一凹槽和第二凹槽内形成空隙;对外延层和中间层进行氧化处理以形成层间氧化层。本申请降低了半导体器件的横向RC延迟,提升了半导体器件的性能。
今年以来晶合集成新获得专利授权241个,较去年同期增加了39.31%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了14.53亿元,同比增13.2%。
通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目645次;财产线索方面有商标信息76条,专利信息1699条,著作权信息12条;此外企业还拥有行政许可27个。
数据来源:天眼查APP
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