富创精密获得实用新型专利授权：“一种用于晶圆加热盘的顶出机构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富创精密（688409）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于晶圆加热盘的顶出机构”，专利申请号为CN202521283841.8，授权日为2026年6月2日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体零部件制造技术领域，特别涉及一种用于晶圆加热盘的顶出机构，包括加热盘、底板、立板、滑台气缸、连接板和支柱；底板上方设置加热盘，下方设置滑台气缸；加热盘中间位置为中心圆，放置晶圆，中心圆的圆心与圆孔的圆心同心，滑台气缸通过立板连接底板，立板与底板通过定位销连接；滑台气缸的顶部连接板上方设置三个支柱，支柱的顶部插入加热盘的通孔内。本实用新型通过陶瓷材料的支柱从下方对晶圆进行顶升，陶瓷材料耐高温性优良，受热变形小，提高机构稳定性，滑台气缸与底板连接，远离加热盘区域，避免加热盘高温对滑台气缸性能造成影响，通过调速阀控制支柱升降速度，提高升降过程的运动平稳性。

今年以来富创精密新获得专利授权27个，较去年同期增加了42.11%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.73亿元，同比增23.53%。

通过天眼查大数据分析，沈阳富创精密设备股份有限公司共对外投资了22家企业，参与招投标项目81次；财产线索方面有商标信息28条，专利信息753条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可46个。

数据来源：天眼查APP

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