华海清科获得发明专利授权：“清洗装置以及晶圆磨削装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“清洗装置以及晶圆磨削装置”，专利申请号为CN202311482251.3，授权日为2026年5月29日。

专利摘要：本申请公开了一种用于清洗晶圆磨削工作台的清洗装置以及晶圆磨削装置，用于清洗晶圆磨削工作台的清洗装置，包括：凸轮，其外周包括至少两段半径不同的弧形段；转动件，用于绕凸轮的外周转动并进行水平运动；清洗刷压盘，与转动件通过传动结构连接，用于在转动件的水平运动的带动下进行竖直运动，并带动设置在其上的清洗刷通过至少两个清洗力对晶圆磨削工作台进行清洗。本申请提供的清洗装置可以更好地清洗掉磨削工作台上的污染物，提高了清洗效果和清洗效率。

今年以来华海清科新获得专利授权35个，较去年同期减少了7.89%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目274次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息812条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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