拓荆科技获得发明专利授权：“负载锁定腔、半导体加工设备、传输方法及存储介质”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“负载锁定腔、半导体加工设备、传输方法及存储介质”，专利申请号为CN202211212941.2，授权日为2026年5月26日。

专利摘要：本发明提供了一种负载锁定腔、一种半导体器件的加工设备、一种半导体器件的传输方法以及一种计算机可读存储介质。所述负载锁定腔包括至少一个腔室本体，其中，所述腔室本体包括：晶圆托盘，用于承载待加工的晶圆；以及传片口，包括垂直侧壁及倾斜侧壁，其中，所述垂直侧壁用于引导所述晶圆从外界沿垂直方向传输到所述晶圆托盘，所述倾斜侧壁用于引导所述晶圆从外界沿倾斜方向传输到所述晶圆托盘。

今年以来拓荆科技新获得专利授权10个，较去年同期减少了37.5%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了7.7亿元，同比增1.8%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目106次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息731条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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