兴福电子获得发明专利授权：“一种含氟蚀刻液”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示兴福电子（688545）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种含氟蚀刻液”，专利申请号为CN202411593075.5，授权日为2026年5月8日。

专利摘要：本发明公开了一种含氟的氮化硅蚀刻液，该蚀刻液包括磷酸、含氟化合物、氧化铝蚀刻抑制剂、钨蚀刻抑制剂、氧化硅蚀刻抑制剂和去离子水。本发明所述的蚀刻液可在热磷酸中实现氮化硅对氧化硅对氧化铝和钨的选择性蚀刻，同时抑制氧化硅的蚀刻，并且由于含氟化合物的络合缓释效应，氮化硅的蚀刻速率在高温下较磷酸/氢氟酸体系更加稳定。

今年以来兴福电子新获得专利授权9个，较去年同期减少了30.77%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了9291.33万元，同比增20.79%。

通过天眼查大数据分析，湖北兴福电子材料股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目232次；财产线索方面有商标信息7条，专利信息532条，著作权信息6条；此外企业还拥有行政许可287个。

数据来源：天眼查APP

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