赛腾股份获得发明专利授权：“晶圆表面检测控制方法、装置、系统及其存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示赛腾股份（603283）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆表面检测控制方法、装置、系统及其存储介质”，专利申请号为CN202610179893.3，授权日为2026年5月5日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆表面检测控制方法、装置、系统及其存储介质，方法包括在夹持机构于指定位置对待检晶圆进行夹持时，控制光学扫描装置分别按照第一预设扫描路径和第二预设扫描路径对所述待检晶圆进行两次扫描，并在两次扫描过程中，控制夹持机构执行避让动作，分别得到第一正面图像、第一反面图像、第二正面图像和第二反面图像；对第一正面图像和第二正面图像进行拼接，以及对第一反面图像和第二反面图像进行拼接，分别生成正面完整图像和反面完整图像。本发明实现了晶圆表面自动检测，提高了晶圆表面检测的自动化程度，解决了现有技术中无法避免夹持干扰、无法高效获取晶圆正反面完整图像的问题。

今年以来赛腾股份新获得专利授权13个，较去年同期减少了23.53%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了3.37亿元，同比减17.49%。

通过天眼查大数据分析，苏州赛腾精密电子股份有限公司共对外投资了13家企业，参与招投标项目11次；财产线索方面有商标信息75条，专利信息832条，著作权信息53条；此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源：天眼查APP

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