华海清科获得实用新型专利授权：“一种晶圆边缘抛光系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆边缘抛光系统”，专利申请号为CN202520801054.1，授权日为2026年4月10日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆边缘抛光系统，涉及晶圆加工技术领域；该晶圆边缘抛光系统包括：前端单元；抛光单元，临近所述前端单元设置，其至少包括一个晶圆边缘抛光装置；清洗单元，用于清洗及干燥晶圆表面；所述晶圆边缘抛光装置包括：装载旋转机构，用于装载并带动晶圆绕中心轴线旋转；抛光组件，其将抛光带抵压于晶圆的边缘，以实现晶圆抛光；所述抛光组件包括上抛光头、下抛光头和边缘抛光头，其通过横向及纵向进给，实现晶圆的上表面、下表面和/或边缘部的抛光。

今年以来华海清科新获得专利授权23个，较去年同期减少了25.81%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息92条，专利信息802条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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