华海清科获得发明专利授权：“一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和抛光方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和抛光方法”，专利申请号为CN202211530232.9，授权日为2026年4月10日。

专利摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光的承载头、抛光系统和方法方法，所述承载头包括承载盘、弹性膜和保持环，所述弹性膜设置于承载盘的下方，所述保持环设置于弹性膜的外周侧并位于承载盘的底部；所述弹性膜包括底板部、直立部、水平部和褶皱部，所述底板部为盘状结构，直立部沿所述底板部的外缘竖直向上延伸，所述水平部自所述直立部的顶端水平向内延伸，所述褶皱部设置于直立部的上方，且其边缘设置于承载盘与保持环之间；还包括检测件和调节件，所述检测件和调节件相邻设置并位于所述褶皱部的下方；所述检测件测量所述褶皱部的应力信息，所述调节件基于检测件的测量值调节褶皱部的应力，使得褶皱部构成的腔室沿圆周方向的变形均匀。

今年以来华海清科新获得专利授权19个，较去年同期增加了5.56%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息91条，专利信息791条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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