华海清科获得发明专利授权：“抛光头及化学机械抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“抛光头及化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202311845548.1，授权日为2026年4月10日。

专利摘要：本申请提供一种抛光头及化学机械抛光设备。抛光头包括：抛光头主体、弹性气膜、第一夹紧装置和第二夹紧装置，抛光头主体沿轴向上的一端形成有安装空间，弹性气膜设置在安装空间内，且弹性气膜形成侧膜和远离安装空间底部的底膜；第一夹紧装置与侧膜的内侧面接触，第二夹紧装置与侧膜的外侧面接触，第一夹紧装置和第二夹紧装置相互配合以夹紧侧膜，在夹紧侧膜的状态下，第一夹紧装置和第二夹紧装置均为环形结构，第一夹紧装置及第二夹紧装置的环形结构的周向尺寸均能够被调节，以调整弹性气膜的周向尺寸，改变抛光晶圆的边缘受力。本方案可以提高抛光头的兼容性。

今年以来华海清科新获得专利授权19个，较去年同期增加了5.56%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目260次；财产线索方面有商标信息91条，专利信息791条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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