罗博特科获得发明专利授权：“等离子体增强化学气相沉积工艺的配方调整方法和装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示罗博特科（300757）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子体增强化学气相沉积工艺的配方调整方法和装置”，专利申请号为CN202610110596.3，授权日为2026年4月3日。

专利摘要：本发明涉及光伏电池制备领域，具体提供了一种等离子体增强化学气相沉积工艺的配方调整方法和装置。该方法包括：获取等离子体增强化学气相沉积工艺机台在运行过程中的状态参数向量，并预测与其对应的预测膜层厚度；若预测膜层厚度不满足预设误差，选取状态参数向量中贡献度排名靠前的k个可调节因子作为目标调节因子；按照膜层厚度的梯度下降方向，在良品历史数据库中，查找与各个目标调节因子的状态参数的欧式距离最小的历史状态参数，作为当前配方参数；根据当前配方参数对应的状态参数向量重新生成预测膜层厚度，直至预测膜层厚度满足预设误差，将当前状态参数向量中的参数作为目标配方。本发明提供的技术方案，降低光伏电池片生产的不良率。

今年以来罗博特科新获得专利授权5个，较去年同期减少了50%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.06亿元，同比增25.97%。

通过天眼查大数据分析，罗博特科智能科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目25次；财产线索方面有商标信息31条，专利信息503条，著作权信息73条；此外企业还拥有行政许可23个。

数据来源：天眼查APP

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