中科飞测获得发明专利授权：“一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置”，专利申请号为CN202510395081.8，授权日为2026年2月24日。

专利摘要：本发明涉及晶圆检测技术领域，具体提供一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置，对目标晶圆进行暗场拍摄，获取该晶圆的表面暗场散射图像，遍历暗场图像中的每一个像素，通过设定邻域和SNR估算计算形成SNR估计图，通过双阈值原理对SNR估计图进行全局阈值分割，获得低阈值二值图和高阈值二值图，遍历低阈值二值图中的连通区域，若连通区域内存在至少一个像素在高阈值二值图中被标记为缺陷，则将该连通区域内所有像素标记为真实缺陷，否则标记为伪缺陷。本发明在背景噪声较大动态范围、缺陷像素数量较少、缺陷信号较弱等条件下，仍能稳定检出缺陷和缺陷轮廓。

今年以来中科飞测新获得专利授权5个，与去年同期持平。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增37.79%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目273次；财产线索方面有商标信息359条，专利信息1088条，著作权信息39条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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