晶盛机电获得发明专利授权：“晶圆形貌检测数据的补偿方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆形貌检测数据的补偿方法”，专利申请号为CN202511576838.X，授权日为2026年1月30日。

专利摘要：本申请提供一种晶圆形貌检测数据的补偿方法，涉及晶圆形貌检测领域。该方法包括：针对每条扫描轨迹，基于晶向夹角确定该晶向夹角下的重力补偿值，通过重力补偿值对扫描轨迹的原始测量数据s(x)进行重力补偿，得到扫描轨迹的重力补偿后的第一补偿数据；确定每条扫描轨迹的倾斜补偿值；针对每条扫描轨迹，通过倾斜补偿值对扫描轨迹的第一补偿数据进行倾斜补偿，得到扫描轨迹的倾斜补偿后的第二补偿数据，利用扫描轨迹的第二补偿数据确定该条扫描轨迹的翘曲度，基于多条扫描轨迹的翘曲度确定待测晶圆的翘曲度；该方法得到的能够精确高效的实现晶圆表面形貌的检测。

今年以来晶盛机电新获得专利授权12个，较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了35家企业，参与招投标项目216次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1148条，著作权信息146条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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