晶盛机电获得实用新型专利授权：“一种晶圆调度转运机械手装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆调度转运机械手装置”，专利申请号为CN202520394867.3，授权日为2026年1月30日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆调度转运机械手装置，属于半导体制造技术领域。晶圆调度转运机械手装置，包括夹片机构，夹片机构包括底板、驱动件和至少两个间隔的第一旋转托盘，第一旋转托盘包括第一转动杆和连接于第一转动杆的第一托底，第一转动杆转动连接于底板，驱动件能够同时驱动至少两个第一转动杆转动，以使第一晶圆能够穿过至少两个第一转动杆之间，或至少两个第一托底同时托载第一晶圆。本实用新型的晶圆调度转运机械手装置，能够适应晶圆尺寸变化，具有对控制精度要求低、故障率低的优点，且不易造成晶圆污染。

今年以来晶盛机电新获得专利授权11个，较去年同期增加了83.33%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目214次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1147条，著作权信息146条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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