颀中科技获得发明专利授权：“晶圆烘烤装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示颀中科技（688352）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆烘烤装置”，专利申请号为CN202410927107.4，授权日为2025年11月4日。

专利摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体公开了一种晶圆烘烤装置。该晶圆烘烤装置包括壳体、设于壳体内的用于承载及烘烤晶圆的烤盘、连接于壳体的排风结构，排风结构包括位于壳体内并设于烤盘上方的排风腔、用于连通排风腔和壳体外部的连通件，排风腔具有沿水平方向向外开放设置的排风口。本发明提供的晶圆烘烤设备中，排风口沿水平方向向外开放，晶圆上所挥发的溶剂能够有效被排出至壳体外部，不会从排风腔向下滴落，对晶圆造成污染。

今年以来颀中科技新获得专利授权28个，较去年同期增加了86.67%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9231.07万元，同比增35.32%。

通过天眼查大数据分析，合肥颀中科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目45次；财产线索方面有专利信息161条，著作权信息1条；此外企业还拥有行政许可20个。

数据来源：天眼查APP

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