拓荆科技获得发明专利授权：“混合气体分流系统及控制分流气体流量的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“混合气体分流系统及控制分流气体流量的方法”，专利申请号为CN202211151542.X，授权日为2025年10月28日。

专利摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种混合气体分流系统，包括：混气装置；分流装置，所述分流装置包含容器、分流管线及压力计，所述分流管线与所述容器的输出侧连通；所述混气装置与所述分流装置由一连通管线彼此连通，而所述容器设置于所述连通管线与所述分流管线之间，所述压力计连通于所述容器或所述连通管线，用来量测所述容器或所述连通管线的压力。解决了现有技术中存在的无法精确地在每次使用混合气体时进行分流和控制的技术问题，达到了提升制程均匀性，提升良率及特性的技术效果。

今年以来拓荆科技新获得专利授权57个，较去年同期增加了111.11%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了9家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息724条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可33个。

数据来源：天眼查APP

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