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富创精密获得实用新型专利授权:“一种适配半导体设备的不锈钢加热器结构”

来源:证券之星企业动态 2025-10-28 03:39:28
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示富创精密(688409)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种适配半导体设备的不锈钢加热器结构”,专利申请号为CN202422898274.9,授权日为2025年10月28日。

专利摘要:本实用新型涉及半导体加热盘技术领域,具体是一种适配半导体设备的不锈钢加热器结构,包括上基盘、下基盘、绝缘层、Shaft柱和发热体,上基盘和下基盘采用不锈钢材质,发热体为厚膜加热器,先将发热体通过印刷烧结的方式排布在一层绝缘层,再将上基盘、带有发热体的一层绝缘层和另一层绝缘层依次叠在一起后烧结成型为一体,Shaft柱固定连接在下基盘上,下基盘与上基盘固定连接。该适配半导体设备的不锈钢加热器结构通过采用不锈钢材质、厚膜加热器以及无机非金属绝缘层等创新设计,不仅提升了加热盘的使用温度范围、温度均匀性和绝缘性能,还简化了生产工艺、降低了成本、减少了加热盘厚度和安装空间,并提升了维修便捷性。

今年以来富创精密新获得专利授权45个,较去年同期减少了18.18%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了1.21亿元,同比增18.12%。

通过天眼查大数据分析,沈阳富创精密设备股份有限公司共对外投资了23家企业,参与招投标项目77次;财产线索方面有商标信息28条,专利信息685条,著作权信息3条;此外企业还拥有行政许可45个。

数据来源:天眼查APP

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