证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“修整器的控制方法、修整器的控制装置、电子设备及存储介质”,专利申请号为CN202411141489.4,授权日为2025年10月24日。
专利摘要:本申请实施例提供了一种修整器的控制方法、修整器的控制装置、电子设备及存储介质,修整器用于修整晶圆抛光使用的抛光垫,该方法包括:确定抛光垫上抛光垫区域对晶圆上晶圆区域的抛光影响值,其中,抛光影响值用于指示抛光垫区域对晶圆区域的抛光作用强度;根据抛光影响值,确定修整器针对抛光垫区域的目标调整比重,其中,修整器针对抛光垫区域的调整比重,用于指示修整器修整抛光垫区域的耗时与修整器修整抛光垫的总耗时的比值;根据目标调整比重,控制修整器在抛光垫区域的停留时间。通过本申请实施例提供的修整器的控制方法能够使修整后的抛光垫对晶圆抛光时的晶圆平坦化工艺符合要求,降低了成本。
今年以来华海清科新获得专利授权78个,较去年同期增加了168.97%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元,同比增42.92%。
通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目235次;财产线索方面有商标信息89条,专利信息756条,著作权信息30条;此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源:天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。










