中微公司获得发明专利授权：“用于电容耦合等离子处理器阻抗特性测量的测量装置和方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于电容耦合等离子处理器阻抗特性测量的测量装置和方法”，专利申请号为CN202011544754.5，授权日为2025年10月14日。

专利摘要：一种用于电容耦合等离子体处理器的阻抗特性测量装置，其特征在于，所述阻抗特性测量装置包括：上接触板和下接触板，其中上接触板用于与电容耦合等离子处理器的气体喷淋头下表面接触，下接触板用于与所述电容耦合等离子处理器中的静电夹盘上表面接触；至少一个弹性导电部位于所述上接触板和下接触板之间，所述弹性导电部提供弹力，使得阻抗特性测量装置在进行电容耦合等离子处理器阻抗特性曲线测量时，上、下接触板的间距被压缩后分别与气体喷淋头和静电夹盘紧密接触。实现不点等离子精确测量等离子处理器阻抗特性曲线。

今年以来中微公司新获得专利授权129个，较去年同期增加了40.22%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了11.16亿元，同比增96.65%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目67次；财产线索方面有商标信息98条，专利信息1538条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可76个。

数据来源：天眼查APP

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