拓荆科技获得发明专利授权：“具有冷却功能的负载锁定装置及晶圆冷却控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“具有冷却功能的负载锁定装置及晶圆冷却控制方法”，专利申请号为CN202211198981.6，授权日为2025年9月26日。

专利摘要：具有冷却功能的负载锁定装置及晶圆冷却控制方法。该负载锁定装置包括负载锁定腔、进气装置、排气装置、压力保护装置以及温度检测装置。当所述负载锁定腔的内部气压低于大气压力，所述进气装置被开启以回填进气，当所述负载锁定腔的内部气压回填至与大气压力相同后，所述排气装置被开启以将多余气体从所述负载锁定腔排出，当所述温度检测装置检测到晶圆温度满足一设定温度或者所述排气装置的排气时间满足一预设时间，则所述排气装置及所述进气装置被关闭；当所述负载锁定腔的内部气压高于一设定值后，所述压力保护装置被自动开启，以将所述负载锁定腔的内部气压控制在所述设定值内。

今年以来拓荆科技新获得专利授权51个，较去年同期增加了104%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息714条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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