晶盛机电获得发明专利授权：“晶圆清洗机”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆清洗机”，专利申请号为CN202510790327.1，授权日为2025年9月12日。

专利摘要：本申请提供了一种晶圆清洗机，属于晶圆清洗技术领域，解决了现有技术晶圆损伤率与清洁度难以兼优的问题。本申请的晶圆清洗机包括上料组件、超声清洗组件、QDR清洗组件、送料组件以及晶圆刷洗组件，晶圆刷洗组件包括辊刷机构和旋转机构，辊刷机构包括第一辊刷和第二辊刷，第一辊刷与送料面共同向上延伸组成一承载区，承载区用于承载晶圆，第二辊刷设置于承载区上方，第二辊刷与第一辊刷共同转动清洗晶圆，旋转机构包括轮体和第一驱动机构，轮体具有靠近承载区活动的自由度以共同夹持晶圆，第一驱动机构作用于轮体以带动晶圆转动。本申请利用旋转机构带动晶圆旋转，配合辊刷机构刷洗，清洁时的刷洗力度可以有效控制均匀，提高晶片表面的清洁度。

今年以来晶盛机电新获得专利授权90个，较去年同期减少了10.89%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目197次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1082条，著作权信息139条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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