晶盛机电获得实用新型专利授权：“一种晶片承载装置及外延生长设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶片承载装置及外延生长设备”，专利申请号为CN202421780559.6，授权日为2025年9月12日。

专利摘要：本申请涉及晶片生长技术领域，公开了一种晶片承载装置及外延生长设备，包括：旋转机构、承载组件及升降机构，所述旋转机构包括转动内轴，所述转动内轴具有绕自身轴线转动的转动自由度；所述承载组件与所述转动内轴连接，可随所述转动内轴同步运动；所述升降机构包括：丝杆模组及升降底座，所述丝杆模组包括至少一移动件，所述移动件具有竖直方向的移动自由度，所述升降底座与所述移动件连接，用于安装所述旋转机构，所述升降底座可带动所述旋转机构随所述移动件同步升降。解决了晶片反应面处气体及温度的均匀性的技术问题，达到提高晶片反应面处气体及温度的均匀性以提高外延生长加工质量的技术效果。

今年以来晶盛机电新获得专利授权90个，较去年同期减少了10.89%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目197次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1082条，著作权信息139条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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