晶盛机电获得发明专利授权：“协同定位方法、装置、存储介质和晶圆上片方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“协同定位方法、装置、存储介质和晶圆上片方法”，专利申请号为CN202510790309.3，授权日为2025年8月29日。

专利摘要：本申请公开了一种协同定位方法、装置、存储介质和晶圆上片方法。该协同定位方法通过第一相机采集的第一定位图像确定游星轮中多个研磨抛光工位的第一像素坐标；通过第二相机采集的第二定位图像确定上片定位缓存台中多个定位工位的第二像素坐标；获取第一相机与第二相机的相机坐标系之间的位置映射关系；基于第一像素坐标、第二像素坐标和位置映射关系确定晶圆定位工位的对准调节量；并将多个定位工位的相对位置关系调整至与多个研磨抛光工位的相对位置关系相同。通过本申请的协同定位方法，能够实现晶圆抛光研磨设备中位于上片缓存模块的多片晶圆与位于游星轮的多个研磨抛光工位同步对准，进而实现多片晶圆的一次性上片，提高晶圆的研磨抛光效率。

今年以来晶盛机电新获得专利授权86个，较去年同期减少了10.42%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目197次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1077条，著作权信息139条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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